2,2,4,4,6,6-六甲基环三硅氮烷

英文名：2,2,4,4,6,6-Hexamethyl-1,3,5,2,4,6-triazatrisilinane

别名：六甲基环三硅氮烷;2,2,4,4,6,6-六甲基环三硅氮烷;1,1,3,3,5,5-六甲基环三硅氮烷;1,5-二甲基-1H-吡唑-4-胺;2,2,4,4,6,6-Hexamethylcyclotrisilazane 2,2,4,4,6,6-六甲基环三硅氮烷;2,2,4,4,6,6-六甲基环丙硅氮烷;2,2,4,4,6,6-六甲基环丙硅烷;2,2,4,4,6,6-六甲基环三硅烷;2,2,4,4,6,6-六甲基环状三硅氮烷;2-氨基-4-氯-5-硝基-6-羟基嘧啶;1,1,3,3,5,5-六甲基环三硅氨烷;1,1,3,3,5,5-六甲基环三氮硅烷;1,1,3,3,5,5-六甲基环三硅氮烷 25G

CAS No. : 1009-93-4

分子式：C6H21N3SI3

分子量：219.51

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中文名称：	2,2,4,4,6,6-六甲基环三硅氮烷
英文名称:	2,2,4,4,6,6-Hexamethyl-1,3,5,2,4,6-triazatrisilinane
产品分类：	化学气相沉积与原子层沉积前体
CAS号：	1009-93-4
分子式：	C6H21N3SI3
分子量：	219.51

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